2022年8月，公司在哈尔滨工业大学深圳校区交付了散射式太赫兹时域光谱系统（TDS-s-SNOM），该系统在近场太赫兹成像模式下，仪器可实现的空间分辨率80nm。实验室近场系统测试，未密闭未充干燥空间环境测试，测试环境温度26摄氏度，湿度60%；原子力学探针:粗位移范围: X≥50mm, Y≥10 mm, Z≥5 mm；粗位移精度:优于200 nm；定位精度小于200nm；扫描范围: 91μmx91μm；X,Y闭环扫描区域: Z方向扫描范围大于2微米；扫描精度X,Y=0.5 nm (闭环)，Z=0.2 nm；采用开放式光路，原子力学探针具有超高光学通路，水平可达180度，垂直可达60度；近场成像单次整体测量尺寸最大尺寸为40x50x15mm (X,Y,Z)。
测试结果展示：
下图为金表面不同阶数及信噪比：
光盘测试结果，下图分别为AFM图、太赫兹一阶信号幅值图、太赫兹二阶信号幅值图、太赫兹三阶信号幅值图、太赫兹二阶信号相位图：
